规格
集成polytec显微激光系统，X-Y-Z三轴调整，精度1um
温度范围4.5K～500K及更高，温控器分辨率低于0.01℃，带调节器和管道，可升级温湿度、压力、特殊气体感知器测试
真空度1×10E-6Torr；可订制视窗，样品固定精度可订制
抗真空拉力定位仪架设在真空腔体外侧数量8个，X/Y/Z轴行程：25mm，定位精度1um，兼容直流探针、射频探针67GHz、光纤信号，保证探针线性无余隙移动，提供备用信号通路，直流探针漏电流精度100fA，射频倾斜架设在真空腔体外侧，分辨率0.01度
特点
集成了宽温度范围、高真空度的复杂环境下的材料的精细光、电信号的测试，同时满足了直流以及高频信号的测试。实现了一机多用，快速切换的精细、复杂测试，大大提高了科研的效率和进度。
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