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产品介绍:
分子泵是一种利用高速旋转转子传递动量以压缩和排出气体的真空设备,分为牵引式、涡轮式及复合式三类,工作压力范围覆盖10⁻⁶~1Pa,涡轮分子泵采用转子转速达20000转/分钟的结构,可产生低于10⁻¹⁰ Pa的真空度,应用于半导体制造、电子显微镜等高精度领域。复合分子泵结合涡轮级抽速与牵引级压缩比优势,采用螺旋沟槽或圆柱面槽结构减少气体返流,需搭配前级泵实现最优性能
EVER100/150
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